テストページ：製品紹介

小型機から大型機、そして出力タイプに至るまで、あらゆるタイプの製品をご用意しております。

製品情報

小型、軽量、安価を実現化したPWM制御型スパッタ電源です。ご要望によって、DC出力型及び、パルス出力型を選択できます。
カタログ仕様以外、～300W以下出力型も製作可能です。
また、表示変更、操作方法変更、パネルデザイン変更も対応致します。

製品仕様

入力電圧	3相、180V～242V、50/60Hz
出力電圧	【イグニッション】約1,100V 【定格】800V
出力設定	【ローカル】10回転ポテンションメータ【リモート】0～10V
制御モード	定電力(CP) / 定電流(CP) / 定電圧(CV) / 選択切替
操作場所	リモート / ローカル　選択切替
出力安定度	±1%以下（各制御モードにおいて10～100%）
冷却方式	強制空冷
保護機能	過電圧 / 過熱 / ヒューズ断線 / 外部インターロック
外部I/F	【出力設定】0～10V / 0～定格【出力ON/OFF】接点クローズ / 24V印加【出力アンサー】フォトカブラ【異常一括】フォトカブラ【異常リセット】接点クローズ / 24V印加【出力モニター】電力・電流・電圧各0～10V
異常放電保護	【標準】異常アーク発生時一定期間出力停止、自動復帰【オプション】低アーク処理

未使用エネルギーの有効活用に。
最大電力追従機能（MPPT）によるエネルギー有効活用。

製品仕様

入力	【形態】3相3線、DC 【電圧】AC10～500V 【整流後】DC10V～700V
出力	【電圧】DC10V～400V 【電流】（2kWタイプ）20Amax、（5kWタイプ）40Amax 【電力】（2kWタイプ）2kWmax、（5kWタイプ）5kWmax
制御方式	定電圧又はMPPT
保護機能	【入力過電圧】整流後DC800V 【出力過電流】（2kWタイプ）24A、（5kWタイプ）48A 【内部加熱】冷却体温度90℃
MPPT手法	山登り方式
変換効率	95%　※入力400V、出力300V 定格出力時
制御電源	AC100V

ご要望の応じて、完全カスタマイズ仕様で製作致します。
周波数、デューティ（立ち上がり時間）、極性、マルチパルス型など他社では対応不可能なもの歓迎致します。

製品仕様